سیستم لایه نشانی اسپاترینگ RF طراحی و ساخته شد
سیستم لایه نشانی DC & RF اسپاترینگ، برای اولین بار در کشور، توسط پژوهشگران جهاد دانشگاهی واحد
صنعتی شریف طراحی و ساخته شد. به گزارش گروه حوزه و دانشگاه "مهر" این سیستم که به همت متخصصان
 مرکز فناوری خلاء بالای جهاد دانشگاهی واحد صنعتی شریف، طراحی و ساخته شده است، در ایجاد لایه های
 نازک در لایه نشانی های مواد رسانا و دی الکتریک به روش کندوپاس (اسپاترینگ) کاربرد دارد. مهندس کلهر،
عضو هیات علمی جهاد دانشگاهی واحد صنعتی شریف در این خصوص گفت: سیستم های اسپاترینگ به منظور
لایه نشانی و ساخت لایه های نازک تحت خلاء استفاده شده و در ساخت انواع حسگرها و ابر رسانایی، نانو-
تکنولوژی و لایه برداری (etching) در سطح اتمی و همچنین در تمیز کاری سطوح و قطعات بوسیله پلاسما بکار
می روند. وی با بیان اینکه با ساخت این سیستم هفتاد درصد صرفه جویی ارزی خواهیم داشت، افزود: دست یابی
 به دانش فنی مذکور تاثیر بسزایی در توسعه فضای تحقیقاتی کشور داشته و گامی در جهت استقلال و خود -
کفایی محسوب می شود. این پژوهشگر، درباره مکانیزم این سیستم اظهار داشت: سیستم اسپاترینگ یا
کندوپاش بر اساس ایجاد محیط پلاسمای گاز یونیزه شده بی اثر و دریک محفظه خلا با فشار حدود 10 میلی بار
کار می کند و مهمترین مزیت آن کنده شدن اتمها یا مولکولهای ماده لایه نشانی در دمای کمتر از دمای ذوب می
 باشد. وی ادامه داد: برای ساخت سیستم لایه نشانی DC & RF، ابتدا سیستم DC مگنترون اسپاترینگ با قطر
هدف 3 اینچ طراحی و ساخته شد، سپس به منظور توسعه این طرح، سیستم به RF اسپاترینگ مجهز شد.
مهندس کلهر خاطر نشان کرد: سیستم های اسپارتینگ DC صرفا برای لایه گذاری مواد رسانا مانند فلزات، قابل
استفاده می باشند و در صورت تزریق گاز فعال، می توان ترکیب گاز فعال با فلز را نیز لایه گذاری نمود اما با بکار
گیری سیستم RF اسپاترینگ می توان انواع مواد رسانا و دی الکتریک را لایه گذاری نمود. وی در خاتمه یاد آور شد:
 حداکثر توان علمی این سیستم، بیش از 650 وات بوده و برای مواد معمولی با نرخ A/S 30 می تواند لایه نشانی
 کند و دارای ایمنی لازم برای سیستم و کاربر می باشد. گفتنی است، این سیستم توسط پژوهشگران جهاد
دانشگاهی واحد صنعتی شریف در آزمایشگاه الکترونیک نوری دانشگاه تربیت مدرس راه اندازی شده و در حال
بهره برداری است.
+ نوشته شده توسط در سه شنبه هفدهم اردیبهشت 1387 و ساعت 23:9 |